七赴进博之约ASML沈波：以光刻“铁三角”助力中国半导体应答AI海潮

发布时间：2025-11-12 来历：转载 责任编纂：lily

【导读】11月5日至10日，第八届中国国际入口展览会于上海国度会展中央乐成举办。技能设备展区作为全场核心之一，吸引浩繁专业不雅众驻足交流，现场氛围强烈热闹。持续七年参展的全世界光刻技能带领者ASML，这次以“积纳米之微，成年夜千世界”为主题，于集成电路专区展示了其前沿的光刻解决方案。

ASML全世界履行副总裁、中国区总裁沈波于接管采访时夸大：“进博会提倡的开放互助理念，与半导体财产全世界化协作、配合前进的特质高度契合。咱们但愿经由过程这一平台，与各界伙伴深切交流，分享行业洞见，展示ASML于光刻范畴的最新结果。”

AI时代的两年夜挑战：算力需求与能源耗损

跟着人工智能技能的迅猛成长，全世界半导体行业正迎来新的厘革契机。沈波指出，AI将成为引领下一波半导体财产年夜成长、并鞭策社会周全数字化转型的焦点驱动力。按照麦肯锡猜测，到2030年，AI将为全世界GDP孝敬10万亿美元的价值。

然而，AI的快速成长也带来了两年夜挑战。沈波注释道，一是摩尔定律及AI时代对于算力需求之间的“铰剪差”——半导体行业持久遵照的摩尔定律显示晶体管数目每一两年摆布翻一倍，而AI的算力需求险些是每一两年以15-16倍的速率增加，这与摩尔定律预示的线性增加路径形成光鲜对于比。

二是能源耗损问题。研究注解，若仅经由过程增长模子参数晋升机能，且其他技能前提稳定，为了于200小时内完成一次超年夜模子练习，其所需的计较速率将致使功耗年夜幅度晋升。

“铁三角”全景光刻解决方案应答行业挑战

面临这些挑战，延续摩尔定律仍是要害应答之策。沈波先容，“经由过程2D微缩连续缩小晶体管尺寸、晋升晶体管密度与能效，以和借助3D集成举行重叠及封装，冲破平面极限，是芯片行业于技能范畴追求立异冲破的两年夜焦点线路。”

ASML经由过程“铁三角”全景光刻解决方案——光刻机、计较光刻、量测与检测的协同，帮忙客户以更低能耗及成本实现更高良率，晋升芯片机能与能效。

于本次进博会现场，ASML以数字化方式展示了全景光刻解决方案下的多款产物及技能。沈波具体先容道：“光刻机帮忙客户制造芯片，计较光刻创立光刻工艺的切确仿真模子以提高良率及产能，量测与检测装备用在暴光后晶圆成像查抄及反馈，和时纠错/调解光刻工艺及时晋升良率。”

ASML展示的DUV光刻机具有多项立异技能。此中TWINSCAN XT:260是ASML的首款可办事在进步前辈封装范畴的光刻机，该装备经由过程光学体系的立异具备年夜视场暴光，相较在现有机型可晋升4倍出产效率。沈波增补说：“这款装备于本年第三季度已经正式发运。”

另外一款DUV光刻机TWINSCAN NXT:870B于进级的光学器件及最新一代磁悬浮平台的撑持下，可实现每一小时晶圆产量400片以上，并为键合后的套刻及阶梯式工艺提供强盛的校订能力。

值患上一提的是，ASML的DUV光刻机立异性地引入了钻石涂层，可以或许有用削减装备磨损，延伸利用寿命，降低改换需求与维护成本。

深耕中国市场三十余载，团队连续壮年夜

自1988年向中邦交付首台步进式光刻机起，ASML于华征程已经逾三十载。沈波暗示，ASML介入并见证了中国半导体行业的成长过程，于正当合规条件下始终为中国客户提供坚实撑持。

如今，中国已经成为ASML最主要的市场之一。ASML于中国17个都会设有服务处、还有有15个仓储物流中央、3个开发中央、1个培训中央以和1个维修中央，形成为了集开发、撑持、办事与人材造就在一体的综合系统。

ASML于中国的团队也于连续壮年夜。沈波先容：“今朝ASML中国区员工人数已经经冲破2000人，比拟去年的1800人实现了约10%的稳健增加。咱们于中国的计较光刻及电子束量测开发团队跨越400人，本年新增的200名员工中客户办事工程师盘踞很年夜比重。”

于营业成长的同时，ASML也踊跃践行企业社会责任。沈波分享道：“团队于天下各地开展ESG勾当，包括慈善勾当、科技类勾当等，例如咱们的西安团队每一年城市按期前去本地州里小学，为留守儿童构造勾当，赐与他们陪伴与眷注。”

行业远景乐不雅，稳健增加可期

于采访的末了，沈波分享了对于ASML事迹以和行业成长的见解：“按照公司最新第三季度财报，ASML预期2025年整年发卖额将实现15%的同比增加。当前，半导体行业总体仍处在调解阶段，并正慢慢进入上行周期，整年15%的幅度是一个比力稳健的增加。”

中持久来看，公司连续看好行业成长。沈波暗示，ASML基本维持对于2030年业务额到达440亿至600亿欧元的预期，“总体而言，咱们对于行业远景连结乐不雅立场。”

跟着人工智能时代的周全到来，半导体财产正站于新的汗青出发点。ASML经由过程其全景光刻解决方案，正踊跃助力全世界半导体行业应答算力与能效挑战，鞭策技能立异与财产进级。